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          半導體籽晶X射線定向儀

          半導體籽晶X射線定向儀

          • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2015/11/10
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          詳細介紹

          半導體籽晶X射線定向儀

          DX-7型半導體籽晶X射線定向儀

          功能:此型儀器主要用于硅單晶籽晶定向,也可用于其它半導體材料的籽晶定向。

          特點:此儀器為雙側工作臺,右側工作臺用于對擬加工成籽晶的硅單晶錠的端面定向,然后在內圓切割機上切成籽晶條;左側工作臺用于對上述籽晶條進行定向。

          技術參數:

          項目

          參     

          輸入電源

          單相交流220V,50Hz,0.3KW.

          Z大管電壓

          30kV

          管電流

          0-5mA連續可調

          接收器

          蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

          X射線管

          銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

          測定角度

          2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

          綜合精度

          ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

          Z小讀數

          1

          被測晶體尺寸

          用于測定直徑為0.5-8英寸,≤30KG的硅單晶(錠)。

          外形尺寸

          1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

          儀器重量

          300kg。

           


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